超純水機是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。 超純水機又稱做：超純水器，超純水設備，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。 超純水機所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。一般超純水出水能達到18.25兆歐

　　性能的區別

　　電導率不同： 純水電導率在2-10us/cm之間，超純水的電導率為0.056us/cm；

　　制造的難易程度不同： 目前市場上使用的純水基本上都是經過反滲透、蒸餾等方法制得，而超純水是在純水的基礎上還要經過光氧化技術、精處理和拋光處理等一系列復雜的純化技術制得的。

　　指標不同： 重金屬、細菌、微粒數等指標也大不相同，純水雜質含量是ppm級，而超純水為ppb級，簡單地說超純水中已經沒有什么雜質，接近于理論上的水。

　　要求不同： 對輸送管道材質的要求也不相同，超純水對輸送管道材質的要求要比超純水嚴格的多。